- 移相掩膜
- phase: n. 1.形勢，局面，狀態(tài)；階級。 2.方面，側面。 3 ...
- shift: vt. 1.變動；改變；搬移；移動；轉(zhuǎn)移；變換；替換；更 ...
- mask: n. 1.假面具，偽裝，掩蔽物；面罩；防毒面具(＝ ga ...
- psm phase shift method: 相移法
- phase shift mask: 移相掩膜
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phase shift mask (psm)中文什么意思
- 移相掩膜
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